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日立超高分辨率冷场发射扫描电子显微镜

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日立超高分辨率冷场发射扫描电子显微镜
访问量 : 347
编辑时间 : 2019-12-11
信息标签 : 扫描电子显微镜

日立超高分辨率冷场发射扫描电子显微镜现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。

通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的最佳性能。


日立超高分辨率冷场发射扫描电子显微镜样品图示

极低着陆电压下高分辨观察

极低着陆电压下高分辨观察
样品:金颗粒
着陆电压:10 V

超高分辨观察

超高分辨观察
样品:Pt催化剂
加速电压:30 kV

低加速电压下高分辨EDX分析

低加速电压下高分辨EDX分析
样品:Sn球
着陆电压:1.5 kV

 

  • *2

  • 仅限Regulus8240/8230/8220